這項ALD技術(shù) 牽引國產(chǎn)半導體設備攻克難關(guān)
行業(yè)的蓬勃發(fā)展,離不開(kāi)裝備技術(shù)的創(chuàng )新與突破。作為國內原子層沉積(ALD)設備“第一股”,微導納米(688147)通過(guò)自主創(chuàng )新實(shí)現了核心技術(shù)的重大突破,解決了國內半導體和光伏產(chǎn)業(yè)鏈的痛點(diǎn)和堵點(diǎn)。
如今,微導納米在半導體、光伏領(lǐng)域齊頭并進(jìn),并持續加速各細分領(lǐng)域的產(chǎn)品研發(fā)和應用,在保持ALD產(chǎn)品國內市場(chǎng)占有率第一的同時(shí),不斷推出更多具備競爭力的系列產(chǎn)品。尤其值得關(guān)注的是,微導納米不僅在國內市場(chǎng)占據重要地位,還在國際市場(chǎng)上展現出了強大的競爭力。公司正在積極響應國家“走出去”戰略,以更加開(kāi)放的姿態(tài)迎接全球市場(chǎng)的挑戰和機遇。
率先用于光伏領(lǐng)域
今年6月,德國慕尼黑國際太陽(yáng)能光伏展(Intersolar Europe 2024)盛大開(kāi)幕。在這場(chǎng)迄今為止全球規模最大、影響最深的太陽(yáng)能專(zhuān)業(yè)展覽交易會(huì )上,微導納米攜TOPCon整線(xiàn)解決方案迎來(lái)歐洲市場(chǎng)“首秀”:除了TOPCon動(dòng)態(tài)沙盤(pán)驚艷亮相外,現場(chǎng)同步呈現了半片技術(shù)、XBC、HJT以及鈣鈦礦疊層電池專(zhuān)用設備等一系列前沿產(chǎn)品,引得眾多業(yè)內人士駐足圍觀(guān),進(jìn)一步了解這家中國企業(yè)的產(chǎn)品及其背后的創(chuàng )新力量。
這場(chǎng)展會(huì )上,微導納米還推出全新升級的“夸父”批量式ALD系統,在維持卓越設備性能的同時(shí),整體體積較上一代產(chǎn)品縮減了約30%,產(chǎn)能也提升10%,真正實(shí)現了“小而精”的設計理念。需要指出的是,“夸父”背后的ALD技術(shù)之所以能成為光伏市場(chǎng)上的“香餑餑”,就源于微導納米的突破性貢獻。
ALD技術(shù)全稱(chēng)為原子層沉積技術(shù),在半導體、光伏、新型顯示、柔性電子、新能源等領(lǐng)域具有多種應用,是非常關(guān)鍵的核心工藝之一。微導納米董事會(huì )秘書(shū)龍文介紹,它通過(guò)交替輸入不同的氣體,使得這些氣體在基底上形成原子級厚度的薄膜。由于沉積是在原子層級進(jìn)行的,所以制備出來(lái)的薄膜具有非常好的覆蓋率和均勻性,可以在復雜的形貌結構上進(jìn)行沉積。
作為國內光伏ALD設備領(lǐng)軍企業(yè),微導納米的創(chuàng )業(yè)史是一部充滿(mǎn)挑戰的奮斗史。
微導納米成立于2015年,由企業(yè)家王燕清與黎微明博士、李翔博士為核心的半導體薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域專(zhuān)家團隊共同創(chuàng )立。其中,黎微明是最早開(kāi)始研究ALD技術(shù)的華人之一,李翔則擁有十余年的半導體器件制造和工藝研發(fā)經(jīng)驗;趯LD等先進(jìn)薄膜沉積技術(shù)在中國發(fā)展前景的信心,黎微明和李翔放棄了在國際知名企業(yè)的高管職位,來(lái)到無(wú)錫這片熱土創(chuàng )業(yè),希望能夠推動(dòng)ALD、CVD等半導體技術(shù)產(chǎn)業(yè)化應用,填補國內空白領(lǐng)域。
創(chuàng )業(yè)之初,微導納米面臨著(zhù)資金、人才資源的多重挑戰,業(yè)務(wù)發(fā)展也面臨著(zhù)國外設備公司設下的壁壘。但這些困難并沒(méi)有擊垮團隊,反而激發(fā)出他們更加堅定的奮斗精神。
“公司創(chuàng )立之初,必須先培養現金流業(yè)務(wù)來(lái)保證存活!蔽Ъ{米總經(jīng)理周仁向證券時(shí)報記者表示,就在微導納米成立后,屬于泛半導體領(lǐng)域的光伏產(chǎn)業(yè)迎來(lái)前所未有的發(fā)展機遇,也催生了對先進(jìn)薄膜沉積設備的巨大需求。王燕清憑借敏銳的市場(chǎng)洞察力,意識到了半導體ALD技術(shù)在光伏領(lǐng)域的應用潛力,他與黎微明、李翔一拍即合,決定利用公司在半導體領(lǐng)域積累的技術(shù)優(yōu)勢,將ALD技術(shù)率先引入光伏產(chǎn)業(yè)中。
2016年,黎微明帶領(lǐng)團隊研發(fā)出批量型“夸父”原子層沉積設備,用于光伏電池片生產(chǎn)過(guò)程中的薄膜沉積環(huán)節,標志著(zhù)中國自主創(chuàng )新的光伏核心裝備取得重要突破,該設備也被評定為“江蘇省首臺(套)重大裝備產(chǎn)品”。
2022年,N型電池迎來(lái)“量產(chǎn)元年”。微導納米圍繞N型電池生產(chǎn)的十大步驟、五大類(lèi)設備,提供全新的TOPCon整線(xiàn)工藝技術(shù)解決方案,打造出業(yè)內領(lǐng)先的下一代高效電池生產(chǎn)線(xiàn)。在團隊的共同努力下,公司在光伏市場(chǎng)上迅速取得了顯著(zhù)成就,陸續獲得包括通威太陽(yáng)能、隆基股份、晶澳太陽(yáng)能、阿特斯、隆基股份、愛(ài)旭股份(600732)、晶科能源、天合光能等多家重要光伏客戶(hù)的訂單。依靠技術(shù)創(chuàng )新上的領(lǐng)先地位,微導納米在光伏ALD設備市場(chǎng)上已經(jīng)連續多年穩居行業(yè)首位。
助力半導體領(lǐng)域突破
好風(fēng)憑借力,扶搖九萬(wàn)里。在光伏領(lǐng)域取得巨大成功后,微導納米又將目光聚焦到對技術(shù)和工藝要求更高的半導體集成電路薄膜沉積設備上。周仁向證券時(shí)報記者表示,“我們希望通過(guò)ALD技術(shù),推動(dòng)半導體領(lǐng)域的創(chuàng )新發(fā)展!
在半導體領(lǐng)域,薄膜沉積設備與光刻機、刻蝕設備并稱(chēng)為集成電路前道生產(chǎn)工藝中最關(guān)鍵的三類(lèi)設備。隨著(zhù)半導體器件結構日益復雜,需要堆疊的薄膜層數越來(lái)越多,光刻、刻蝕等工藝配合ALD技術(shù),才能制造出數億級復雜的半導體芯片?梢哉f(shuō),ALD是半導體制造最核心的基礎工藝之一,對實(shí)現半導體芯片的復雜功能至關(guān)重要。
隨著(zhù)國際局勢的變化,國產(chǎn)半導體設備迎來(lái)歷史性機遇。微導納米利用光伏積累的資金和創(chuàng )投資金投入半導體研發(fā),正式啟動(dòng)半導體項目,迅速成為國內首家將量產(chǎn)型High-k ALD設備應用于28nm節點(diǎn)集成電路制造生產(chǎn)線(xiàn)的國產(chǎn)設備公司,實(shí)現了國產(chǎn)ALD設備“從0到1”的突破。業(yè)內人士介紹,上述設備技術(shù)有效填補國內空白,達到國際先進(jìn)水平。
2022年12月23日,微導納米在科創(chuàng )板成功上市,為公司的發(fā)展插上騰飛的翅膀。上市后,公司的綜合實(shí)力進(jìn)一步增強,研發(fā)強度與營(yíng)收增速均高于科創(chuàng )板市場(chǎng)平均水平。以2024年上半年為例,微導納米的研發(fā)投入達到2.29億元,同比增長(cháng)134.05%,占營(yíng)業(yè)收入的比重達到29.15%,遠超行業(yè)平均水平。
更加引人關(guān)注的是,公司將研發(fā)投入的60%以上投向半導體領(lǐng)域,并且制定了詳細的新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)路線(xiàn)圖,積極推進(jìn)新產(chǎn)品的研發(fā),計劃在未來(lái)兩年內推出一系列創(chuàng )新產(chǎn)品!拔覀冊谶壿嬓酒、存儲芯片、化合物半導體、新型顯示等諸多半導體細分領(lǐng)域實(shí)施多元布局,已獲得知名客戶(hù)重復批量訂單,成為能與國際巨頭同臺競技的民族企業(yè)之一!敝苋氏蛴浾弑硎,“我們期待這些新產(chǎn)品能夠進(jìn)一步鞏固我們在半導體行業(yè)的領(lǐng)先地位!
在國產(chǎn)半導體設備中,CVD設備國產(chǎn)化率僅15%左右,ALD設備國產(chǎn)化率更低,基本上不到2%,在一兩年前甚至接近于零。2023年,微導納米進(jìn)一步擴展了CVD產(chǎn)品線(xiàn),憑借在技術(shù)上的獨特優(yōu)勢,成功推出高溫無(wú)定形碳工藝專(zhuān)用PECVD設備并取得批量訂單,滿(mǎn)足了客戶(hù)在多個(gè)技術(shù)節點(diǎn)和工藝環(huán)節對薄膜沉積設備的需求,填補了國內半導體集成電路關(guān)鍵技術(shù)空白。
談及半導體領(lǐng)域布局的發(fā)展前景,周仁直言,雖然整個(gè)國際形勢、半導體設備形勢相對而言比較嚴峻,但是對于微導納米這一類(lèi)從事“從0到1”的半導體設備企業(yè)來(lái)說(shuō),現階段是非常重要的戰略窗口期和上行期,所以景氣度還是非常高的。
近年來(lái),微導納米業(yè)績(jì)持續高速增長(cháng),成為國內半導體公司中跑出的一匹“黑馬”。
2024年上半年,微導納米實(shí)現營(yíng)業(yè)收入7.87億元,同比增加105.97%,其中半導體設備收入同比增長(cháng)了812.94%,整體占比逐年提升。截至6月30日,微導納米在手訂單80.85億元,其中光伏在手訂單66.67億元,半導體在手訂單13.44億元。與去年同期相比,半導體在手訂單同比增加了123.09%。相關(guān)客戶(hù)類(lèi)型涵蓋了邏輯、存儲、化合物半導體、硅基OLED等領(lǐng)域,其中超過(guò)75%的增量訂單來(lái)自存儲領(lǐng)域,行業(yè)重要客戶(hù)需求表現強勁,形成批量的重復訂單合計已超過(guò)7.5億元,體現了市場(chǎng)及客戶(hù)的高度認可。
探索新興發(fā)展機會(huì )
再將目光拉回到慕尼黑國際太陽(yáng)能光伏展,微導納米推出的鈣鈦礦新品無(wú)疑是展會(huì )上的一大亮點(diǎn)。
2023年11月,微導納米自主研發(fā)的鈣鈦礦晶硅疊層電池專(zhuān)用設備順利通過(guò)海外客戶(hù)驗收,幫助客戶(hù)達成商業(yè)化電池(258.15cm)效率最新世界紀錄,完成鈣鈦礦電池產(chǎn)業(yè)化工藝路線(xiàn)拼圖,再次實(shí)現國產(chǎn)高端設備逆向出口海外,充分展現了公司在全球新型高效電池領(lǐng)域的強大競爭力。
“我們在光伏里的策略就是抓住當下機遇,同時(shí)又儲備未來(lái)的技術(shù),來(lái)應對整個(gè)光伏未來(lái)技術(shù)轉換的發(fā)展!敝苋时硎,微導納米正圍繞BC電池、HJT電池、鈣鈦礦電池等多種新型高效電池領(lǐng)域,持續完善技術(shù)儲備和產(chǎn)品,為全球光伏產(chǎn)業(yè)的創(chuàng )新發(fā)展注入了新的動(dòng)力。
如今,微導納米將ALD技術(shù)作為核心競爭力,并構建了以ALD技術(shù)平臺為基礎,通過(guò)產(chǎn)業(yè)化應用服務(wù)不同行業(yè),形成以技術(shù)為核、多產(chǎn)業(yè)為翼的商業(yè)模式。這種模式的優(yōu)勢在于,目標行業(yè)市場(chǎng)規模大,如光伏、半導體等每個(gè)行業(yè)市場(chǎng)規模均達百億級,可為公司帶來(lái)穩定的收入增長(cháng)!斑@樣可以幫助公司逐步突破單一行業(yè)的發(fā)展瓶頸,解決后期發(fā)展可能面臨的天花板問(wèn)題。不同事業(yè)組合,可以降低單一周期性行業(yè)的波動(dòng)風(fēng)險!蔽Ъ{米董秘龍文表示,如果公司僅聚焦一個(gè)周期性行業(yè),該行業(yè)在周期下行時(shí),公司整體訂單和收入也會(huì )下滑,“而多產(chǎn)業(yè)組合可減弱單行業(yè)風(fēng)險”。
隨著(zhù)人工智能、自動(dòng)駕駛、虛擬現實(shí)、柔性電子等新興產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展,微導納米不斷探索在新興產(chǎn)業(yè)應用領(lǐng)域進(jìn)行薄膜工藝相關(guān)專(zhuān)用設備和技術(shù)的研發(fā),并逐步開(kāi)展產(chǎn)品應用驗證,持續推動(dòng)新興產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步,助力客戶(hù)在相關(guān)領(lǐng)域保持行業(yè)領(lǐng)先地位。
據了解,微導納米還將繼續探索尖端薄膜沉積技術(shù)在各新興應用領(lǐng)域的發(fā)展機會(huì ),如柔性鍍膜、芯片封裝、光學(xué)超低減反膜沉積、新能源等細分應用領(lǐng)域的薄膜沉積技術(shù),“雖然目前這些領(lǐng)域的現有訂單量不大,但公司看好這些領(lǐng)域的市場(chǎng)潛力和技術(shù)應用前景!蔽Ъ{米董秘龍文表示。
就在今年1月,微導納米創(chuàng )新研發(fā)的ALD量產(chǎn)設備順利發(fā)往歐洲某頭部芯片制造客戶(hù),專(zhuān)用于其新型車(chē)載芯片的生產(chǎn)制造,再次實(shí)現國產(chǎn)高端設備逆向出口海外,標志著(zhù)微導納米推動(dòng)ALD技術(shù)在新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的應用又取得新的突破,為公司全球化及多元化發(fā)展布局增添新的動(dòng)力。
今年4月15日,微導納米自主研發(fā)的專(zhuān)用于光學(xué)行業(yè)的ALD量產(chǎn)設備成功發(fā)往客戶(hù)現場(chǎng)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化驗證,標志著(zhù)微導納米在光學(xué)領(lǐng)域的技術(shù)研發(fā)取得新突破。該設備專(zhuān)為消費電子光學(xué)攝像頭、AR/VR光學(xué)透鏡、精密光學(xué)元器件等產(chǎn)品的薄膜沉積加工工藝而設計,助力攝像鏡頭等精密光學(xué)技術(shù)實(shí)現了迭代升級,也彰顯了微導納米以ALD技術(shù)為核心,持續挖掘技術(shù)創(chuàng )新潛力、探索新興行業(yè)應用的強大實(shí)力。
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